Thiết bị AlphaStep D-600 Stylus Profier KLA Tencor

Thiết bị AlphaStep D-600 Stylus Profier KLA Tencor

Alpha-Step D-600 Stylus Profiler cung cấp các cấu hình 2D & 3D có độ phân giải cao hàng đầu trong ngành, ứng dụng 2D, ghép hồ sơ và nhiều tính năng bổ sung trong một nền tảng dễ sử dụng. Hệ thống profilometer bút stylus bao gồm một giai đoạn cơ giới 200 mm, với dải chuyển động XY 150 mm x 178 mm và công nghệ cảm biến đòn bẩy quang học tiên tiến. Alpha-Step D-600 Stylus Profiler cũng bao gồm quang học tiên tiến và điều khiển video nâng cao cho hình ảnh mẫu linh hoạt cao. Phần mềm sắp xếp các tính năng mới sắp xếp theo cách thủ công, cho phép người dùng lập trình lên tới 1000 địa điểm.

• Phạm vi dọc cao nhất ở 1200 μm
• Đo lực thấp từ 0,03 đến 15 mg
• Chiều cao lặp lại của bước 5 Å trên bước 1 μm
• Máy ảnh màu 5 MP có độ phân giải cao với zoom kỹ thuật số 4x
• Các tính năng phần mềm mới: Chỉnh sửa Keystone, hiệu chỉnh vòng cung, sắp xếp theo trình tự, và tự động ghép
• Giao diện người dùng trực quan

Ứng dụng và công nghiệp:

D-600 Stylus Profiler có khả năng đo nhiều ứng dụng trong 2D và 3D, từ các bước nanomet đến milimet, độ nhám độ phân giải cao, vật liệu mềm và ứng suất màng mỏng. Điều này cho phép D-600 Stylus Profiler trở thành trình tạo bút đa năng linh hoạt nhất trên thị trường — có khả năng phục vụ các ngành công nghiệp khác nhau trong các phép đo nghiên cứu và phát triển và sản xuất.