Máy đo 3D Carmar SWIM-1510, SWIM-2515, SWIM-4030
Cấu hình 3D có chiều sâu Nano giới thiệu nhanh các
thiết kế sê -ri SWIM của Carmar với công nghệ giao thoa ánh sáng trắng quét mới nhất. Hiệu suất vượt trội với thao tác đơn giản, linh hoạt thiết kế của khách hàng và quét độ chính xác cao, cấu hình Micro-3D và kết cấu bề mặt có thể được thực hiện bằng thao tác không tiếp xúc và không mang tính xây dựng trong môi trường bình thường. Ngoài ra, độ nhám bề mặt cấp độ nano và tính toán chiều cao bước được truy nguyên theo tiêu chuẩn quốc tế ISO.
Giao thoa kế ánh sáng trắng dòng SWIM mạnh mẽ có thể thu được dữ liệu quét của FOV trong vài giây. Cấu hình 3D và kết quả kiểm tra chiều cao thu được tốt hơn so với kính hiển vi tiêu cự điểm tới điểm. Khả năng đo đồ họa 3D tốt hơn so với kính hiển vi điện tử quét.
Bất kể việc đánh bóng, lớp thô hay thậm chí là vật liệu trong suốt đều có thể được kiểm tra bằng SWIM miễn là tỷ lệ phản xạ của vật đo được là hơn 1%. SWIM phù hợp cho việc kiểm tra cấu hình bề mặt và cấu trúc vi mô cho tất cả các loại vật liệu và thành phần.
Các ứng dụng như sau:
* Màn hình LCD cảm ứng
* Pin mặt trời
* Tấm wafer silicon / Tấm wafer
* Đĩa DVD / Đĩa cứng
* Thành phần MEMS
* LCD
*
Gói PCB * IC kết nối mật độ cao
* Bộ phận vi cơ hoặc khuôn
* và phân tích và bề mặt nghiên cứu các vật liệu khác và bề mặt gia công chính xác.
Công nghệ quét PVSI được cấp bằng sáng chế giúp đo độ sâu đạt độ phân giải 0,1nm Dòng SWIM
cung cấp Độ phân giải dọc: 0,1nm, Độ phân giải không gian bên: 0,5 0.5m (ống kính 50X) với tốc độ quét dọc tối đa có thể lên tới 12μm / s. Khả năng trình bày 3D Micro-Profile tốc độ cao là công cụ cần thiết để nghiên cứu, RD và kiểm tra chất lượng cho sản xuất.
ModelSWIM-1510MSSWIM-2515MSSWIM-4030MS
SWIM-1510MESWIM-2515MESWIM-4030ME
SWIM-1510MZSWIM-2515MZSWIM-4030MZ
Travel range of stage (mm)150 x 100250 x 150400 x 300
Size of machine X/Y/Z (mm)510 x 560 x 900570 x 670 x900700 x 990 x 900
Weight (kg)145150296
Loading10 kg
Travel range in Z axis80 mm，Manual coarse／fine adjustment
Digital position display unitLinear optical scales and computer display in XYZ ( 0.5 mm resolution)
Tilt adjustment stageTwo way ／Manual
BaseGranite
Height Measurement
Scanning Range100 mm ( 400 mm, optional)
Resolution0.1 nm
Repeatibility (σ)≦ 0.1 % ( Range： > 10 m m)
≦ 10 nm ( Range：1 m m ~ 10 m m)
≦ 5 nm ( Range： <1 m m )
Control modeAuto
Scanning speed (mm ／s)12 （Max.）
Light Source
TypeHalgon
Average life time1000 hours (100W) ; 500 hours (150W)
Light intensity adjustmentAuto ／Manual
Data processing Computer
CPUDual-core Intel CPU or higher
Display UnitTwo 17” LCD
Data storage device200 GB Hard Driver or Higher
Operation systemWindowsXP (2)
Power and Environment Requirements
PowerAC110V 50Hz ／60Hz or AC220V 50Hz ／60Hz
Environment vibrationHigher than VC-C class
Measuring and Analyze Software
Measuring softwareImgScan pre-processing softwar ：
With VSI／PVSI／PSI measurement mode (PSI need more optional module)
Analyze softwarePostTopo post-processing software：
ISO roughness/step height; FFT filtering; 2D ／3D Observation;
Size／Area／Volume Measuring; Zoom in; Image Output; Report Output; Measure by teaching procedure, etc.