Thiết bị kiểm tra nhiệt độ Wafer Temptronic ThermoChucks TP03000A, TP03010A, TP03010B, TP03015A, TP03015B

Temptronic ThermoChucks là hệ thống sưởi và làm mát dẫn điện để thử nghiệm wafer ở nhiệt độ. Công dụng chính của nó là để kiểm tra wafer trong các Trạm thăm dò, cũng như Laser Trim và Wafer Burn-in. Một số ứng dụng chuyên biệt bao gồm thăm dò rò rỉ thấp (mức fA) và thăm dò điện áp cao (lên đến 10kV).

• -65C đến + 300 ° C
• 150mm, 200mm & 300mm
• Trang bị thêm cho các trạm thăm dò hiện có

Hệ thống ThermoChuck thường được cấu hình cao cho các trạm thăm dò cụ thể. Các thông số quan trọng cần thiết để phù hợp với ứng dụng của bạn:

• Kích thước (đường kính) mâm cặp?
• Phạm vi nhiệt độ yêu cầu?
• Chế tạo và mô hình của mâm cặp trạm thăm dò sẽ được gắn vào?
• Mạ ưa thích trên bề mặt ThermoChuck (vàng hoặc niken)?
• Các cân nhắc khác (Thăm dò tiếng ồn thấp? Thăm dò điện áp cao, v.v.)?

Sản phẩm 150 và 200mm