| Đạt được áp lực |
5,0 × 10 -4 Pa hoặc ít hơn |
| Phạm vi áp suất hiệu chuẩn |
5,0 × 10 -2～ 1,0 × 10 5 Pa |
| Phương pháp kiểm soát áp suất |
hoạt động thủ công |
| Thời gian xả |
Khoảng 20 phút (từ áp suất khí quyển đến áp suất cuối cùng) |
| Thùng chứa chân không |
Hình dạng: Hình trụ (chiều cao 224 mm) Chất liệu: SUS304
Xử lý bề mặt:
Máy đo chân không đánh bóng Số cổng gắn: 8 cổng (ICF-70)
(3 cổng để tham khảo, 5 cổng để hiệu chuẩn) |
| Hệ thống ống xả |
Bơm chính: Bơm phân tử Turbo Tốc độ xả 70L / s
Bơm phụ: Bơm quay Tốc độ xả 100L / phút
Van chân không: Van bướm |
| Hệ thống giới thiệu khí |
Van rò rỉ biến đổi, van kim, bộ điều chỉnh |
| Kích thước / trọng lượng bên ngoài |
Rộng 55 x Sâu 50 x Cao 110 cm Xấp xỉ 150 kg |