Thiết bị 3D MicroXAM-800 Profier KLA Tencor

MicroXAM-800 là giao thoa kế bề mặt quang học từ dòng sản phẩm đo lường bề mặt của KLA-Tencor. Công cụ này sử dụng giao thoa quang ánh sáng trắng không tiếp xúc và phân biệt chính nó với giao diện người dùng sáng tạo nhưng đơn giản. Giao thoa kế quang học MicroXAM-800 có bộ chức năng mạnh mẽ để hỗ trợ phạm vi ứng dụng rộng nhất.

 

 

Giao thoa kế quang MicroXAM-800 là một nền tảng linh hoạt cho cả việc thu thập và phân tích dữ liệu. Hệ thống đo giao thoa quang học MicroXAM-800 bao gồm các tính năng phần cứng và phần mềm cần thiết để đáp ứng các yêu cầu về R & D và môi trường sản xuất nghiêm ngặt. Các tính năng giao thoa quang học MicroXAM-800 bao gồm các giai đoạn lập trình, thiết lập công thức đơn giản, kịch bản và thư viện mở rộng các công cụ phân tích. Một loạt các mục tiêu, các giai đoạn mẫu, và các tùy chọn có sẵn để đáp ứng nhu cầu của bất kỳ ứng dụng nào.

 

Giao thoa kế quang học MicroXAM-800 hỗ trợ các ứng dụng trong R & D và sản xuất, đo kết cấu, chiều cao bước và hình thức. Giao thoa kế quang MicroXAM-800 được sử dụng trong nhiều ngành công nghiệp: đèn LED, thiết bị nguồn, thiết bị y tế, MEMS, chất bán dẫn, mặt trời và bề mặt chính xác.