Thiết bị HRP-260 Profier KLA Tencor
Mô tả Sản phẩm
HRP-260 là công cụ đo lường địa hình bề mặt tự động, tiên tiến, có độ phân giải cao / tỷ lệ khung hình cao, cấu trúc địa hình bề mặt dựa trên bút stylus cho các ứng dụng 200mm cạnh hàng đầu. Lựa chọn đầu bút 20nm siêu mịn của công cụ đo lường địa hình của công cụ đo lường này cho phép hạ xuống địa hình bề mặt thế hệ 45nm với thông lượng tiết kiệm chi phí cho các ứng dụng kết nối và bóng bán dẫn quan trọng. Với styli kim cương xuống bán kính 20nm và nền tảng tiếng ồn thấp hơn để tăng cường độ nhạy đo lường, hệ thống định hình địa hình bề mặt HRP-260 cung cấp công nghệ bút stylus có kích thước nanomet phù hợp với độ phân giải AFM - không yêu cầu mô hình hóa. Ngoài hệ thống định hình địa hình bề mặt HRP-260 200mm, HRP-350 300mm hệ thống đo lường địa hình bề mặt cũng có sẵn cho các ứng dụng sản xuất bán dẫn IC.
Các ứng dụng