Thiết bị đo bề mặt P-17, P-7 stylus profiler KLA Tencor
Đo bề mặt và công cụ giám sát độ sâu Etch
Mô tả Sản phẩm
P-17 stylus profiler cung cấp khả năng lặp lại đo lường bề mặt hàng đầu trong ngành để đạt được hiệu suất đo đáng tin cậy. Công cụ đo bề mặt có tiêu chuẩn chiều dài quét 200 mm - trình tạo bút stylus duy nhất trên thị trường cung cấp khả năng quét dài mà không cần phải khâu. UltraLite ®cảm biến bao gồm điều khiển lực động, độ tuyến tính tuyệt vời và độ phân giải dọc cao nhất làm cho nó trở thành cảm biến tốt nhất có sẵn trên công cụ đo bề mặt. P-17 stylus profiler bao gồm nhiều tính năng để nâng cao trải nghiệm người dùng như quang học hàng đầu và bên, giám sát độ sâu etch. và các giai đoạn theta / san lấp mặt bằng cơ giới. Cuối cùng, công cụ đo bề mặt bao gồm hoạt động điểm và nhấp và gói năng suất để cung cấp công cụ đo bề mặt dễ sử dụng nhất trên thị trường với các tính năng theo yêu cầu của trường đại học, R & D và môi trường sản xuất.
P-17 OF (khung mở) bao gồm tất cả khả năng của trình thu thập bút stylus P-17 với giám sát độ sâu etch, nhưng cho phép người dùng tải các mẫu lớn hơn trên 9,5 x 9,5 inch vuông hoặc mâm mẫu 300 mm.
Ứng dụng
Chất bán dẫn
CMP dishing, xói mòn phụ thuộc vào mô hình, đặc điểm địa hình bề mặt và độ phẳng oxit cho hiệu suất thiết bị lớn hơn và giảm tổn thất năng suất. Đo chiều cao, co-planarity và độ nhám của các va chạm cho công nghệ chip lật. Thực hiện giám sát độ sâu etch trên hình học mở với phân tích tự động và thiết lập quy trình đơn giản.
Lưu trữ dữ liệu
Đầu và đầu mỏng của màng mỏng, đĩa cứng, phương tiện quang học và từ tính. Các ứng dụng wafer bao gồm độ dày mạ, chiều cao cuộn dây và độ phẳng CMP. Các ứng dụng trượt bao gồm phân tích suy thoái đầu nhọn, các khoang chứa khí, và đặc điểm va chạm kết cấu bằng laser bao gồm độ cao va chạm, chiều rộng và độ sâu theo dõi.
MEMS và Opto-Điện tử
MEMS và Opto-Electronics bước cao, chiều cao và độ cong của ống kính vi mô và giám sát độ sâu DWDM etch.
Các ứng dụng khác Các
mạch lai và chất nền gốm, giấy và các bề mặt hoàn thiện, bề mặt được đánh bóng và gia công, bề mặt được phủ hoặc sơn, và các bề mặt gia công chính xác thuộc bất kỳ loại nào.